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详情描述
参数
金属有机物化学气相沉积(Metal Organic Chemical Vapor Deposition ，简称 MOCVD)是制备混合半导体器件 、金属及金属氧化物 、金属氮化物薄膜材料的一种芯片外延技术 。加热系统是 MOCVD 设备的重要组成部分 ，它能否快速 、均匀的加热衬底 ，直接影响着薄膜沉积的质量 、厚度一致性 ，以及芯片的性能 。k8凯发国际拥有10年MOCVD用铼加热器专业制作技术经验及完善的品控管理体系 ，是替代MOCVD用铼加热器进口大牌或原厂配件 ，能够进行OEM全工序代工代制 ，最具技术开发实力和品质保障能力的国内头号厂家 。
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